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Fabrication, modeling and integration of a silicon technology force sensor in a piezoelectric micro-manipulator.

机译：硅技术力传感器在压电微操纵器中的制造，建模和集成。

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Pérez, Ricardo; Chaillet, Nicolas; Domanski, Krzysztof; Janus, Pawel; Grabiec, Piotr;
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年度 2006
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